Uburyo bwo gutwikira abafotora muri rusange bugabanijwemo kuzunguruka, kuzenguruka no gufunga umuzingo, muri byo harimo kuzenguruka cyane. Mugihe cyo kuzunguruka, gufotora bimanikwa kuri substrate, kandi substrate irashobora kuzunguruka kumuvuduko mwinshi kugirango ubone firime yifotozi. Nyuma yibyo, firime ikomeye irashobora kuboneka uyishyushya ku isahani ishyushye. Ipitingi ya spin irakwiriye gutwikirwa muri firime ultra-thin (hafi 20nm) kugeza kuri firime yibyibushye ya 100um. Ibiranga ni uburinganire bwiza, uburebure bwa firime imwe hagati ya wafer, inenge nke, nibindi, hamwe na firime ifite imikorere yo hejuru irashobora kuboneka.
Inzira yo kuzunguruka
Mugihe cyo kuzunguruka, umuvuduko nyamukuru wo kuzunguruka wa substrate ugena ubunini bwa firime yubufotozi. Isano iri hagati yo kuzunguruka nubunini bwa firime nuburyo bukurikira:
Kuzenguruka = kTn
Muri formula, Kuzenguruka ni umuvuduko wo kuzunguruka; T ni ubunini bwa firime; k na n bihoraho.
Ibintu bigira ingaruka kumuzingo
Nubwo uburebure bwa firime bugenwa numuvuduko nyamukuru wo kuzunguruka, bifitanye isano nubushyuhe bwicyumba, ubushuhe, ubukonje bwamafoto nubwoko bwabafotozi. Kugereranya ubwoko butandukanye bwo gufotora gufotora byerekanwe kumashusho 1.
Igishushanyo 1: Kugereranya ubwoko butandukanye bwo gufotora umurongo
Ingaruka yigihe cyo kuzunguruka
Igihe kigufi nyamukuru cyo kuzunguruka, ubunini bwa firime. Iyo igihe nyamukuru cyo kuzunguruka cyiyongereye, filime iba yoroheje. Iyo irenze 20, ubunini bwa firime ntibuhinduka. Kubwibyo, igihe nyamukuru cyo kuzunguruka cyatoranijwe kugirango kirenze amasegonda 20. Isano iri hagati yigihe kinini cyo kuzunguruka nubunini bwa firime irerekanwa mumashusho 2.
Igishushanyo 2: Isano iri hagati yigihe cyo kuzunguruka nubunini bwa firime
Iyo fotoreziste yatonywe kuri substrate, kabone niyo umuvuduko wingenzi wikurikiranya ari umwe, umuvuduko wo kuzunguruka wa substrate mugihe cyo gutonyanga bizagira ingaruka kumubyimba wanyuma. Umubyimba wa firime yifotozi wiyongera hamwe no kwiyongera kwumuvuduko wa substrate mugihe cyo gutonyanga, ibyo bikaba biterwa ningaruka zo guhumeka kwumuti mugihe ifotora ifunguye nyuma yo gutonyanga. Igishushanyo cya 3 cyerekana isano iri hagati yubugari bwa firime numuvuduko wingenzi wo kuzunguruka kumuvuduko utandukanye wa substrate kuzunguruka mugihe gitonyanga amafoto. Birashobora kugaragara uhereye ku gishushanyo ko hamwe no kwiyongera k'umuvuduko wo kuzenguruka wa substrate itonyanga, uburebure bwa firime burahinduka vuba, kandi itandukaniro rigaragara cyane mukarere hamwe n'umuvuduko wo hasi wo kuzunguruka.
Igishushanyo 3: Isano iri hagati yubunini bwa firime numuvuduko wingenzi wo kuzunguruka kumuvuduko utandukanye wa substrate yo kuzunguruka mugihe cyo gutanga amafoto
Ingaruka yubushuhe mugihe cyo gutwikira
Iyo ubuhehere bugabanutse, ubunini bwa firime bwiyongera, kubera ko kugabanuka kwubushuhe butera guhumeka kwumuti. Ariko, gukwirakwiza ubunini bwa firime ntabwo bihinduka cyane. Igicapo ca 4 cerekana isano iri hagati yubushuhe no gukwirakwiza ubunini bwa firime mugihe co gutwikira.
Igishushanyo 4: Isano iri hagati yubushuhe no gukwirakwiza firime mugihe cyo gutwikira
Ingaruka yubushyuhe mugihe cyo gutwikira
Iyo ubushyuhe bwo mu nzu buzamutse, uburebure bwa firime buriyongera. Birashobora kugaragara kuva ku gishushanyo cya 5 ko gukwirakwiza amafoto yububiko bwa fotoreiste guhinduka kuva convex kugera kumurongo. Umurongo uri ku gishushanyo urerekana kandi ko uburinganire buri hejuru buboneka iyo ubushyuhe bwo mu nzu ari 26 ° C naho ubushyuhe bwa fotore ni 21 ° C.
Igishushanyo 5: Isano iri hagati yubushyuhe no gukwirakwiza ubunini bwa firime mugihe cyo gutwikira
Ingaruka z'umuvuduko mwinshi mugihe cyo gutwikira
Igishushanyo cya 6 cyerekana isano iri hagati yumuvuduko mwinshi hamwe no gukwirakwiza ubunini bwa firime. Mugihe habuze umunaniro, byerekana ko hagati ya wafer ikunda kwiyongera. Kongera umuvuduko mwinshi bizamura uburinganire, ariko niba byiyongereye cyane, uburinganire buzagabanuka. Birashobora kugaragara ko hari agaciro keza kumuvuduko mwinshi.
Igishushanyo 6: Isano iri hagati yumuvuduko mwinshi nogukwirakwiza firime
Kuvura HMDS
Kugirango abafotora barusheho kwambara neza, wafer igomba kuvurwa na hexamethyldisilazane (HMDS). Cyane cyane iyo ubushuhe bufatanye hejuru ya firime ya Si oxyde, hakorwa silanol, igabanya gufatira kwifoto. Kugirango ukureho ubuhehere no kubora silanol, wafer ubusanzwe ashyuha kugeza kuri 100-120 ° C, hanyuma HMDS igashyirwa kugirango itere imiti. Uburyo bwo kubyitwaramo bwerekanwe ku gishushanyo cya 7. Binyuze mu kuvura HMDS, hejuru ya hydrophilique ifite inguni ntoya ihuza ihinduka hydrophobique ifite ubuso bunini bwo guhuza. Gushyushya wafer birashobora kubona gufotora hejuru.
Igishushanyo 7: Uburyo bwa reaction ya HMDS
Ingaruka zo kuvura HMDS zirashobora kugaragara mugupima inguni. Igicapo 8 cerekana isano iri hagati yigihe cyo kuvura HMDS nu mfuruka (ubushyuhe bwo kuvura 110 ° C). Substrate ni Si, igihe cyo kuvura HMDS kirenze 1min, impande zifatika zirenga 80 °, kandi ingaruka zo kuvura zirahagaze. Igicapo 9 cerekana isano iri hagati yubushyuhe bwo kuvura HMDS nuburyo bwo guhuza (igihe cyo kuvura 60s). Iyo ubushyuhe burenze 120 ℃, impande zifatika ziragabanuka, byerekana ko HMDS ibora kubera ubushyuhe. Kubwibyo, kuvura HMDS mubusanzwe bikorwa 100-110 ℃.
Igishushanyo 8: Isano hagati yigihe cyo kuvura HMDS
no guhuza impande (ubushyuhe bwo kuvura 110 ℃)
Igicapo 9: Isano iri hagati yubushyuhe bwo kuvura HMDS nu mfuruka (igihe cyo kuvura 60s)
Ubuvuzi bwa HMDS bukorerwa kuri sisitemu ya silicon hamwe na firime ya oxyde kugirango ikore ishusho ya fotore. Filime ya oxyde ihita yongerwamo aside hydrofluoric hiyongereyeho buffer, kandi ugasanga nyuma yo kuvura HMDS, uburyo bwo gufotora bushobora kubuzwa kugwa. Igicapo 10 cerekana ingaruka zo kuvura HMDS (ingano yicyitegererezo ni 1um).
Igishushanyo 10: Ingaruka yo kuvura HMDS (ingano yicyitegererezo ni 1um)
Kwitegura
Ku muvuduko umwe wo kuzunguruka, hejuru yubushyuhe bwo hejuru, nubunini bwa firime ntoya, ibyo bikaba byerekana ko uko ubushyuhe bwikurikiranya, niko bigenda byangirika, bikavamo ubunini bwa firime. Igicapo 11 cerekana isano iri hagati yubushuhe mbere yo guteka hamwe na Dill's A parameter. Ikigereranyo cyerekana ubunini bwibikoresho bifotora. Nkuko bigaragara kuri iyo shusho, mugihe ubushyuhe bwambere bwo guteka buzamutse hejuru ya 140 ° C, A parameter iragabanuka, byerekana ko agent yifotora yangirika kubushyuhe buri hejuru yibi. Igicapo 12 cerekana uburyo bwohereza ibintu mubushuhe butandukanye mbere yo guteka. Kuri 160 ° C na 180 ° C, ubwiyongere bwikwirakwizwa burashobora kugaragara muburebure bwa 300-500nm. Ibi biremeza ko agent yifotora itetse kandi ikangirika kubushyuhe bwinshi. Ubushyuhe mbere yo guteka bufite agaciro keza, kugenwa nibiranga urumuri no kumva.
Igishushanyo 11: Isano iri hagati yubushyuhe mbere yo guteka hamwe na Dill's A parameter
(agaciro gapimwe ka OFPR-800/2)
Igishushanyo 12: Ikwirakwizwa rya Spectral ku bushyuhe butandukanye mbere yo guteka
(OFPR-800, uburebure bwa firime 1um)
Muri make, uburyo bwo kuzunguruka buzunguruka bufite ibyiza byihariye nko kugenzura neza ubugari bwa firime, imikorere ihenze cyane, imikorere yoroheje, hamwe nuburyo bworoshye, bityo bigira ingaruka zikomeye mukugabanya umwanda, kuzigama ingufu, no kunoza imikorere yikiguzi. Mu myaka yashize, kuzunguruka kuzunguruka kwagiye kwitabwaho, kandi ikoreshwa ryayo ryagiye rikwirakwira mu bice bitandukanye.
Igihe cyo kohereza: Ugushyingo-27-2024