Kuki silikoni imwe ya kirisiti ikeneye kuzunguruka?

Kuzunguruka bivuga inzira yo gusya diameter yo hanze ya silikoni imwe ya kirisiti ya kirisiti mu nkoni imwe ya kirisiti ya diametre isabwa ukoresheje uruziga rusya rwa diyama, hanyuma ugasya impande zombi zerekeranye cyangwa inkingi ihagaze y'inkoni imwe ya kirisiti.

Ubuso bwa diameter yo hanze yinkoni imwe ya kirisiti yateguwe nitanura rimwe rya kirisiti ntabwo yoroshye kandi iringaniye, kandi diameter yayo nini kuruta diameter ya wafer ya silicon yakoreshejwe mugukoresha bwa nyuma. Diameter ikenewe irashobora kuboneka muguhinduranya diameter yo hanze.

Urusyo ruzunguruka rufite umurimo wo gusya impande zombi zerekeranye cyangwa hejuru ya silicon imwe ya kirisiti ya kirisiti, ni ukuvuga gukora ikizamini cyerekezo ku nkoni imwe ya kirisiti hamwe na diameter isabwa. Ku bikoresho bimwe byo gusya, uruzitiro ruringaniye rwerekanwe hejuru cyangwa urwego ruhagaze rwinkoni imwe ya kirisiti ni hasi. Mubisanzwe, inkoni imwe ya kristu ifite umurambararo uri munsi ya 200mm ikoresha impande zombi zerekeranye, hamwe ninkoni imwe ya kirisiti ifite umurambararo wa 200mm no hejuru ikoresha imyobo ihagaze. Inkoni imwe ya kirisiti ifite umurambararo wa 200mm irashobora kandi gukorwa hamwe nu mpande zombi zerekanwa nkuko bikenewe. Intego yumurongo umwe wa kristu yerekana icyerekezo ni uguhuza ibikenewe byimikorere yimikorere yibikoresho bitunganyirizwa munganda zuzuzanya; kwerekana icyerekezo cya kristu nicyerekezo cyubwoko bwa silicon wafer, nibindi, kugirango byorohereze imicungire yumusaruro; icyerekezo nyamukuru cyumwanya cyangwa umwanya wa groove ni perpendicular kuri <110> icyerekezo. Mugihe cyo gupakira chip, inzira yo gushushanya irashobora gutera gutandukana kwa wafer, kandi guhagarara nabyo birashobora kubuza kubyara ibice.

Intego nyamukuru yuburyo bwo kuzenguruka harimo: Kunoza ubuziranenge bwubuso: Kuzenguruka birashobora gukuraho burr hamwe nuburinganire hejuru yubuso bwa silicon no kunoza ubuso bwa waferi ya silicon, ibyo bikaba ari ingenzi cyane kubikorwa bya fotolitografiya hamwe nuburyo bwo gutobora. Kugabanya imihangayiko: Stress irashobora kubyara mugihe cyo gutema no gutunganya wafer ya silicon. Kuzunguruka birashobora gufasha kurekura izo mpungenge no gukumira wafer ya silicon kumeneka mubikorwa bikurikira. Kunoza imbaraga za mashini za waferi ya silicon: Mugihe cyo kuzenguruka, impande za wafer wa silicon zizagenda zoroha, zifasha kuzamura imbaraga za mashini za waferi ya silicon no kugabanya ibyangiritse mugihe cyo gutwara no gukoresha. Kugenzura niba ibipimo bifatika: Mugihe cyo kuzenguruka, uburinganire bwa silikoni ya silikoni irashobora kwemezwa, ibyo bikaba ari ngombwa mu gukora ibikoresho bya semiconductor. Kunoza imiterere yamashanyarazi ya silicon wafers: Gutunganya inkombe za silicon waferi bigira uruhare runini mumashanyarazi. Kuzenguruka birashobora guteza imbere amashanyarazi ya waferi ya silicon, nko kugabanya imiyoboro yamenetse. Ubwiza: Impande za silicon wafers ziroroshye kandi nziza nyuma yo kuzenguruka, nazo zikenewe kubintu bimwe na bimwe byakoreshwa.